電解放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）JSM-7100F

研究キーワード

走査型電子顕微鏡（SEM） , ナノ構造解析 , 組成分析

セールスポイント

• ナノレベルで材料の表面観察ができます。
• 高分解能組成分析ができます。

装置概要

電解放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)とエネルギー分散型X線分析装(EDX)機能により、材料表面のナノ構造観察とナノ組成分析の高精度同時解析が可能です。
長時間にわたって変動の無い安定した電流値で連続分析が可能です。
10cmΦ規模の大型サンプルも加工なしでそのまま分析が可能です。

応用事例・使用用途など

新材料開発、
ナノレベルの表面観察による材料の寿命評価
など

研究内容

［関連分野］ナノ材料開発、トライポロジー、原子力材料
［背景技術］電子顕微鏡、電子ビーム応用
［本研究のポイント・効果など］ナノレベルでの表面観察、高分解能組成分析が可能です。